青岛热等静压厂家带您了解苏州六九新材料申请一种CoFeTa磁控溅射靶材及其制备方法专利,工艺简单《披哥》五公四人狂揽好评,两人跌落神坛,谁成黑马?谁意料之外
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金融界2024年10月17日消息,国家知识产权局信息显示,苏州六九新材料科技有限公司申请一项名为“一种CoFeTa磁控溅射靶材及其制备方法”的专利,公开号CN 11877356等静压机1 A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明提供了一种CoFeTa磁控溅射靶材及其制备方法,涉及磁控溅射靶材及其制备技术领域,包括配料步骤、烘料步骤、装炉步骤、合金熔化步骤、浇铸步骤、热处理等静压机步骤、热等静压步骤和机加工步骤;其中,所述装炉步骤包括:将烘烤后的钽块放入真空感应炉的陶瓷坩埚底部,将电解钴置于所述钽块上面,再将金属铁装于所述电解钴块的上面;所述合金熔化步骤包括:设置真空感应炉的真等静压机空度<0.1Pa,再以≤20KW的电功率送电并保持20-40min,进一步提高送电功率至≥40KW,并保持20-30min,使原料快速熔化,获得温度为1500-1570℃的合金液。
本发明工艺简单,合金等静压机成份控制准确,杂质含量低,气体含量低,透磁率高
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